MEMS专利转让_购买MEMS专利

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发明专利发明专利
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一种用于悬臂梁型SOI-MEMS器件的选择性电化学刻蚀方法
专利号:2020110397412
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发明专利发明专利
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一种控制微簧板间垂直度的方法及装置
专利号: 2022103196456 
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发明专利发明专利
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一种纳米铝热剂及其纳米铝热剂微自毁芯片的制备方法
专利号:2022107938722
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发明专利发明专利
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一种测试平台角度可调的离心式毫-微牛级附着力测试系统(高校 生物及昆虫学研究 微小作用力精密测量 微机电系统(MEMS)研发 )
专利号:2021107159381
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发明专利发明专利
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一种MEMS三维隧道结构
专利号:2017115001975
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一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器
专利号:2022116432156
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发明专利发明专利
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一种H-3碳化硅PN型同位素电池及其制造方法
专利号:2018112699087
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发明专利发明专利
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一种兼具正负电卡效应的钛酸铋钠基薄膜及其制备方法
专利号:2020103207076
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发明专利发明专利
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一种基于三张光刻版解决电极短路问题的压电MEMS换能器制备方法
专利号:2024104408615
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发明专利发明专利
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一种控制微簧板间垂直度的方法及装置
专利号:2022103196456
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发明专利发明专利
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一种低成本精密芯片模具光刻掩膜的制备方法(高校 特色工艺半导体 IC封装与先进封装 ‌印制电路板(PCB)与精细电子元器件)
专利号:2016102831140
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发明专利发明专利
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一种新型MEMS高g值三轴加速度计
专利号:2021115314868
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发明专利发明专利
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一种磁致伸缩驱动机构
专利号:2020114707259
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发明专利发明专利
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一种磁致伸缩微位移平台
专利号:2020114520967
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发明专利发明专利
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一种双金属氧化物半导体气敏材料、制备方法及其应用
专利号:202410488715X
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发明专利发明专利
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一种MEMS传感器蘸胶装置
专利号:2020102848078
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实用新型实用新型
一种激光雷达的MEMS振镜驱动电路
专利号:2023221191037
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实用新型实用新型
一种改进动态面形的MEMS振镜
专利号:2023219143406
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实用新型实用新型
一种应用于激光雷达的MEMS微镜系统
专利号:2023218975710
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实用新型实用新型
一种自主激励静电式大直径MEMS微镜驱动器
专利号:2023208097071
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发明专利发明专利
一种MEMS加速度计非线性误差补偿方法
专利号:CN202211046418.7
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发明专利发明专利
一种绝压接触式MEMS电容薄膜真空传感器
专利号:2022115151579
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发明专利发明专利
一种MEMS光谐振式加速度计
专利号:2025114323389
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发明专利发明专利
一种硅基自由空间型光学MEMS加速度计及制造方法
专利号:2025112897355
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发明专利发明专利
一种微压探测压力传感器及其测量装置
专利号:2020104600556
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发明专利发明专利
用于检测大肠杆菌的悬臂梁式声表面波传感器及工作方法
专利号:2021112569032
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发明专利发明专利
一种基于ICEEMDAN-ACF的自适应MEMS陀螺信号去噪方法
专利号:ZL202211164999.4
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实用新型实用新型
已报高企
带有保护材料层结构的MEMS气敏传感器基底(报过项目)
专利号:2024206897236
已下证已报高企
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实用新型实用新型
已报高企
MEMS气敏传感器基底层结构(报过项目)
专利号:2024205595046
已下证已报高企
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发明专利发明专利
一种无人机MEMS加速度传感器噪声消除方法
专利号:2019109001731
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发明专利发明专利
分布式质量块结构MEMS压阻式加速度传感器芯片
专利号:2021102449833
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发明专利发明专利
一种基于蓝牙与MEMS融合的室内定位系统及方法
专利号:2016100113314
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关于「MEMS」专利转让

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